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鄒小姐：13326633089 -
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中硅（山東）硅鋁新材料有限公司經過多年的科研攻關，已經攻克氣相法（CVD工藝）批量生產高純超細碳化硅粉的技術障礙，生產出的碳化硅微粉，屬3C相β型，純度達到3N-5N；顆粒均勻，粒徑主要分布在450-750nm，形態(tài)呈球狀；硅碳摩爾比近似1：1；因其在高濃度的氬氣和氫氣環(huán)境下生成，顆粒內部無氧。這種粉料是生產高端碳化硅器件的原料，器件在半導體制造工藝裝備中都有廣泛應用，如：研磨拋光吸盤、光刻吸盤、檢測吸盤、精密運動平臺、蝕刻環(huán)節(jié)的高純碳化硅部件、封裝檢測環(huán)節(jié)中精密運動系統(tǒng)等，其次，光伏硅生產用的碳化硅槳也用到這種高純超細碳化硅粉。
產品推薦1：碳化硅粉
1.技術參數(shù)
3C相?型，純度3N-5N，顆粒度450-750nm
2.性能特點
高純、高細
3.應用領域
高純碳化硅器件燒結
歡迎各位屆時蒞臨CAC 2023廣州先進陶瓷產業(yè)鏈展覽會，中硅（山東）硅鋁新材料有限公司——展位號：B402，現(xiàn)場了解更多相關信息。
