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CAC2025 全國(guó)先進(jìn)陶瓷論壇暨半導(dǎo)體陶瓷專題論壇

2026年6月25-26日 西安中建假日酒店



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CAC采訪 | 如何玩轉(zhuǎn)氮化硅?中科光物院有話說!
日期:2023-05-29    瀏覽次數(shù):次
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結(jié)構(gòu)陶瓷種類繁多,其中氮化硅陶瓷Si3N4因各方面性能較為平衡,被譽(yù)為“結(jié)構(gòu)陶瓷之王”,適用于機(jī)械振動(dòng)大、熱沖擊大、電流沖擊大以及要求具有高可靠性、高穩(wěn)定性的應(yīng)用場(chǎng)合,是制備陶瓷基板的優(yōu)良材料。而氮化硅陶瓷粉體的純度、粒度、晶型對(duì)基板成型工藝、燒結(jié)工藝以及最終產(chǎn)品性能都有著重大的影響,因此,氮化硅粉體的制備工藝尤為重要。

在CAC2023廣州先進(jìn)陶瓷展上,專業(yè)從事高品質(zhì)Si3N4粉體生產(chǎn)與研發(fā)的齊魯中科光物理與工程技術(shù)研究院吸引了小編的目光,小編有幸在現(xiàn)場(chǎng)采訪到了該研究院部門負(fù)責(zé)人馬光山先生,請(qǐng)他為我們分享一下目前齊魯中科光物院氮化硅粉體的生產(chǎn)技術(shù)情況。

CAC采訪 | 如何玩轉(zhuǎn)氮化硅?中科光物院有話說!

Q1:了解到貴單位一直致力于高品質(zhì)陶瓷粉體的生產(chǎn)與研發(fā),請(qǐng)問一下貴單位在技術(shù)上取得了哪些進(jìn)展?

A1:我們單位是濟(jì)南市和中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所共建的事業(yè)單位,依托于中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所強(qiáng)大的科研實(shí)力和技術(shù)積累,我們一直致力于燃燒合成高品質(zhì)陶瓷粉體材料的理論和工藝研究,目前已經(jīng)取得了“燃燒合成裝備大型化、燃燒反應(yīng)過程調(diào)控智能化以及工藝產(chǎn)品穩(wěn)定化”全方位的技術(shù)突破,本次CAC展會(huì),我們也帶來了α-Si3N4粉體、β-Si3N4粉體、MgSiN2粉體、β-SiC粉體等,這些產(chǎn)品相含量高、純度高、穩(wěn)定性好,品質(zhì)都達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。

CAC采訪 | 如何玩轉(zhuǎn)氮化硅?中科光物院有話說!

展品展示

Q2:眾所周知,氮化硅粉體有著“結(jié)構(gòu)陶瓷之王”的稱號(hào),貴單位也是氮化硅粉體生產(chǎn)研發(fā)的佼佼者,馬先生能為我們?cè)敿?xì)介紹下貴單位生產(chǎn)的氮化硅粉體嗎?

A2:氮化硅是一種共價(jià)鍵化合物,有α、β和γ三種晶型,比較常見的是α-Si3N4和β-Si3N4,這兩種晶型都能在常壓下合成。本單位采用燃燒合成工藝制備的α-Si3N4配方粉是在較低的溫度下合成的,并經(jīng)歷了快速的升降溫過程,具有較高的燒結(jié)活性、低溫穩(wěn)定性和高α相含量(α≥93%),常用作新能源、風(fēng)力發(fā)電以及一些極端特殊行業(yè)的高導(dǎo)熱基板、軸承球和結(jié)構(gòu)件等。但需要注意的是,α-Si3N4在1700℃時(shí)會(huì)轉(zhuǎn)變成β相,并且這一過程不可逆,因此在燒結(jié)時(shí)需控制好溫度。而β-Si3N4理論上單晶熱導(dǎo)率可高達(dá)320 W/m·K,但其晶格氧含量、相含量均會(huì)影響其熱導(dǎo)率,本單位生產(chǎn)的β-Si3N4的相含量達(dá)到98%以上,氧含量控制在1.0%以內(nèi),能保證熱導(dǎo)率的正常發(fā)揮,可用作高導(dǎo)熱填料、高強(qiáng)高熱導(dǎo)Si3N4陶瓷的晶種等。此外,為了進(jìn)一步提升氮化硅陶瓷的熱導(dǎo)率,本單位還研發(fā)了高純度、性能穩(wěn)定及高抗彎強(qiáng)度的MgSiN2粉體作為燒結(jié)助劑,研究表明,它能夠凈化Si3N4晶粒,降低氮化硅晶格氧含量,增強(qiáng)晶粒生長(zhǎng),從而大幅提高氮化硅陶瓷的熱導(dǎo)率及抗彎強(qiáng)度。

Q3:目前,貴單位的氮化硅粉體的產(chǎn)業(yè)化情況如何?未來想要實(shí)現(xiàn)怎樣的目標(biāo)?

A3:本項(xiàng)目組自2002年成立以來,一直在穩(wěn)步發(fā)展,產(chǎn)品品質(zhì)也達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。目前已在濟(jì)南建成200噸高品質(zhì)氮化硅粉體生產(chǎn)線,力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)氮化硅陶瓷基板粉體國(guó)產(chǎn)自主替代,滿足國(guó)內(nèi)下游客戶的需求。我們現(xiàn)在的目標(biāo)是建成國(guó)際最大的高品質(zhì)氮化硅陶瓷粉體燃燒合成生產(chǎn)線,致力于“技術(shù)-產(chǎn)品-應(yīng)用”的知行合一,希望能以燃燒合成技術(shù)引領(lǐng)我國(guó)先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

總結(jié)

犯其至難而圖其志遠(yuǎn),感謝齊魯中科背后的科研工作者們,正是許多如你們一樣不懼艱辛、攻堅(jiān)克難的科研人員,我國(guó)先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)才得以蓬勃發(fā)展。相信秉承“知行合一”科研精神,未來齊魯中科定能實(shí)現(xiàn)“國(guó)際最大的高品質(zhì)氮化硅陶瓷粉體燃燒合成生產(chǎn)線”的目標(biāo)。最后,感謝各位展商對(duì)CAC廣州國(guó)際先進(jìn)陶瓷展的支持,我們?yōu)槟艹蔀槟銈冋故镜钠脚_(tái)而感到榮幸,希望未來繼續(xù)攜手,為我國(guó)先進(jìn)陶瓷事業(yè)添柴加薪。


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